K303-A1 マイクロマシン・センサシステム アクチュエータ
3月17日 午前 K303会場
3-118- 伸び型・縮み型シリコーンゴムアクチュエータの電圧−変位特性
- ◎松木憲児・小迫雅裕・田中祀捷（早稲田大学）
3-119- バネを用いたアクリルゴムアクチュエータの時間応答特性
- ◎佐伯謙太・小迫雅裕・田中祀捷（早稲田大学）
3-120- 柔軟薄膜とSi構造を組み合わせた多点支持型能動曲面の研究
- ◎兼清 浩・雑賀智彦・小西 聡（立命館大学）
3-121- 円筒型コイルを利用した電磁駆動ソレノイド型マイクロアクチュエータの製作
- ◎望月浩晃・銘苅春隆・服部 正（兵庫県立大学）・久住真治・嶋田 修（進工業）・佐藤憲昭（樹研工業）・山下 満（兵庫県立 工業技術センター）
3-122- 応力層によるねじり梁を用いた静電駆動スパイラルアクチュエータ
- ◎島本延亮・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-123- 水素吸蔵によるPdの変形を動力源とした表面マイクロマシン用アクチュエータ
- ◎豊田耕平・奥山澄雄・土田朗義・長沼 博・松下浩一（山形大学）
3-124- Si基板上に成膜したPZT薄膜を用いたアクチュエータ
- ○遠藤広宣・田澤慶朗・鈴木孝明・神野伊策・小寺秀俊（京都大学）
K303-A2 マイクロマシン・センサシステム MEMS応用デバイス
3月17日 午前 K303会場
3-125- RF MEMSスイッチの要素技術開発
- ○森口 誠・佐藤正武・渡辺秀明（オムロン）
3-126- キャビティ構造を有した線路駆動型RF MEMSスイッチ
- ◎曽田真之介・吉田幸久・西野 有・半谷政毅・宮崎守泰・田口元久（三菱電機）
3-127- 高周波MEMSスイッチの耐電力評価
- ◎出尾晋一・曽田真之介・吉田幸久・半谷政毅・西野 有・田口元久（三菱電機）
3-128- 格子状に配置した静電駆動MEMSミラーとその制御に関する研究
- ◎吉田憲弘・前中一介・藤田孝之・高山洋一郎（兵庫県立大学）
3-129- 平面コイルによる非共振駆動2軸光スキャナの開発
- ◎三井俊明・渡部善幸・阿部 泰（山形県工業技術センター）
3-130- Si加工技術を用いたER駆動バルブの製作
- ◎冨田一孝・原田知親・奥山澄雄・長沼 博・松下浩一・中野政身（山形大学）
3-131- 多数の穴を有する薄膜電極を用いたイオンドラッグマイクロポンプの特性
- ◎堀田和佳・早川聡一郎・土田縫夫（豊田工業大学）・松本 学（三菱電機）
K303-A3 マイクロマシン・センサシステム MEMS基盤技術（I）
3月17日 午後 K303会場
3-132- Siドライエッチングを用いたX線マスク作製
- ◎田中誠人・瀧口欣司（姫路工業大学）・杉山嘉也（エリオニクス）・村越庸一・前田龍太郎（産業技術総合研究所）・船曳陽一（ナノクリエート）・奥田孝一（兵庫県立大学）・服部 正（兵庫県立大学高度産業科学技術研究所）
3-133- 硬X線撮影に対するK吸収端の影響
- ◎安井 学・増田信次・平林康男（神奈川県産業技術総合研究所）
3-134- X線リソグラフィを用いたテーパー構造体の作製
- ◎瀬戸本 豊（兵庫県立大学）・植田寛康・上野 洋・糸魚川貢一（東海理化）・服部 正（兵庫県立大学）
3-135- Ni電鋳法によるマイクロ金型の製作
- ◎木村太郎（姫路工業大学）・中郷直樹・竹田博昭（イケックス工業）・服部 正（兵庫県立大学）
3-136- 接着層としてSU-8を用いたパターン移植法
- ○川田博昭・和田憲幸・藤井宏紀・安田雅昭・平井義彦（大阪府立大学）
3-137- 等倍投影露光装置を用いた段差ウェハへの三次元パターニング
- ◎金岡佳充・勝又文治（矢崎総業）・志田幸穂・押久保修司（ウルトラテック）
3-138- マスクレス露光装置を用いたグレイスケールフォトレジストパターンの作製
- ◎戸津健太郎・藤代健太・田中秀治・江刺正喜（東北大学）
3-139- 自己組織化単分子膜によるMEMS構造のスティクション回避
- ◎泰井祐輔・角嶋邦之・藤田博之・年吉 洋・小野志亜之・高橋琢二（東京大学）
3-140- H2Oイオンによる照射によるフッ素樹脂の表面改質
- ◎山下修平（姫路工業大学）・瀬戸本 豊（兵庫県立大学）・植田寛康・糸魚川貢一（東海理化）・奥田孝一・服部 正（兵庫県立大学）
K303-A4 マイクロマシン・センサシステム MEMS基盤技術（II）
3月17日 午後 K303会場
3-141- GaAs/セラミックス複合型カンチレバーの試作
- 宮本高志・岩田展也・大西孝史・小出昌広・廣島大三・赤堀誠志・○山田省二（北陸先端科学技術大学院大学）
3-142- 短鎖DNA捕獲のためのナノギャップ対向針状電極の作成
- ◎田村一紀・角嶋邦之（東京大学）・橋口 原（香川大学）・藤田博之（東京大学）
3-143- AFMピンセットによるナノ物質操作に関する研究
- ◎中川和久・武川哲也・橋口 原（香川大学）・角嶋邦之・藤田博之（東京大学）
3-144- 高周波MEMS応用のための微小真空管製作
- ◎山下清隆・Sun Winston・角嶋邦之・藤田博之・年吉 洋（東京大学）
3-145- Design and Fabrication of Gradient Coils for Mirco-MRI
- ◎蒋 永剛・小野崇人・江刺正喜（東北大学）
3-146- 微細三次元構造体によるライトガイドの研究
- ◎野村俊文（姫路工業大学）・宮川昭人・糸魚川貢一（東海理化）・服部 正（兵庫県立大学）
3-147- 半導体マイクロマシニングで製作したプラノ‐コンベックス型水晶振動子の振動特性評価
- ◎坂田英治・江刺正喜・西澤松彦（東北大学）・安部 隆（JST さきがけ）
3-148- MEMS有機材料の炭化と半導体基礎特性評価
- ◎永惠英樹・佐川徹平・小西 聡（立命館大学）
3-149- 局所空間フィルタに基づく画像速度場の基本パラメタ分解と単眼ビジュアルサーボへの応用
- ○生方 稔・牧野 豊・三橋 渉（電気通信大学）
K405-C1 フィジカルセンサ フィジカルセンサの基礎
3月19日 午前 K405会場
3-150- 蛍光X線膜厚計で使用するCr標準薄膜の開発
- ○播磨幸一（早稲田大学）・岩崎 登（電測）・植田敏嗣（早稲田大学）
3-151- 弾力性制御によるシリコン集積化スマート触圧覚イメージセンサの広ダイナミックレンジ動作
- ◎高尾英邦・澤田和明・石田 誠（豊橋技術科学大学）
3-152- ダイアフラム型圧電超音波センサの撓み形状が感度に及ぼす影響
- 山下 馨・西本博樹・○奥山雅則（大阪大学）
3-153- センサ応用のための矩形水晶振動子の超小型化
- ○安部 隆・李 興華・島本尚典・西澤松彦・江刺正喜（東北大学）
3-154- 水晶を用いた高感度傾斜角センサの検討
- 幸坂扶佐夫（早稲田大学）・◎梁 金星（坂本電機製作所）・植田敏嗣（早稲田大学）
3-155- ダイオードブリッジ型差動容量検出回路
- ◎松尾高博（早稲田大学）・梁 金星・國友 建（坂本電機製作所）・植田敏嗣（早稲田大学）
K405-C2 フィジカルセンサ センサ応用
3月19日 午前 K405会場
3-156- マイクロアレイセンサを用いたリアルタイム空中超音波計測系
- ○山下 馨・鶴谷泰介・奥山雅則（大阪大学）
3-157- Study on Measurement of Moving Velocity for Human
- 杉本隆夫・○鐘 恵姜（日本大学）
3-158- 定在波を用いた人体検知用マイクロ波距離センサ
- ◎西沢博志・中島利郎・高嶋和夫（三菱電機）・上保徹志（雑賀技術研究所）・入谷忠光（徳島大学）
3-159- 表面バルクマイクロマシン構造Ba(Ti,Sn)O3薄膜誘電ボロメータ型赤外線センサの作製
- ◎松元光輝（大阪府立産業技術総合研究所）・Daniel Popovici（大阪大学）・村上修一・宇野真由美（大阪府立産業技術総合研究所）・野田 実・奥山雅則（大阪大学）
3-160- 検出器構造改善によるマイクロ波濃度計の外気温変化の影響低減
- ◎渡邉一弘・野沢雅人・西川清則（東芝 電力・社会システム社）
3-161- 酵素反応熱を利用した新型バイオセンサの提案
- ○山木廉雄・柳田幸樹・木村光照（東北学院大学）
K303-C3 ケミカルセンサ ガスセンサ
3月19日 午後 K303会場
3-162- 3次元プローブによる室内環境のガス源探知
- ◎吉川慶太・森泉豊栄（東京工業大学）・石田 寛・遠山茂樹（東京農工大学）
3-163- ポテンシャル法を用いた視嗅覚融合ガス源探知ロボットの経路計画
- ◎谷口治輝・森泉豊栄（東京工業大学）・石田 寛・遠山茂樹（東京農工大学）
3-164- ガスセンサとフローセンサを用いた飛行船型三次元ガス源探知ロボットの研究
- ◎加田章子・石田 寛・遠山茂樹（東京農工大学）
3-165- 半導体ガスセンサを用いた大気環境モニタリング装置
- ◎吉野哲人・辻田 亘・名嘉眞朝将・森泉豊榮（東京工業大学）・石田 寛（東京農工大学）
3-166- 単一ガスセンサによる混合ガス濃度の推定方法について
- ○中島 隆（日本大学）
3-167- R.F.プラズマ溶射による高感度ホルムアルデヒドセンサの開発
- ◎史 麗琴・長谷川有貴・勝部昭明（埼玉大学）・中野 守・中村清純（ウチヤ・サーモスタット）
3-168- ファイバオプティクスによる二酸化炭素濃度センサの開発
- ○グエンスウアンリン・博幸金井・豊典西松・広明石澤・栄治鳥羽（信州大学）
3-169- STW素子を用いたガスセンサの検討
- ○奈良 誠・谷津田博美（日本無線）・黒澤 茂・愛澤秀信（産業技術総合研究所）
K303-C4 ケミカルセンサ 湿度・ガスセンサ
3月19日 午後 K303会場
3-170- 酸化銅厚膜素子の感湿特性
- ○金子文隆（湘南工科大学）・山崎 貴（国士舘大學）・難波典之（関東学院大學）
3-171- 固体電解質膜を用いたSF6ガス中水分濃度検出
- ○永尾栄一・皆川忠郎・西田智恵子・中嶋 高・亀井光仁（ティーエム・ティーアンドディー）
3-172- カーボンナノチューブガスセンサによる水蒸気雰囲気におけるNO2の選択的検出
- ◎今給黎広志・樋高慎一郎・末廣純也・今坂公宣・原 雅則（九州大学）
3-173- WO3セラミック粒子と薄膜ヒーターによる高感度NO2センサの開発
- ○中田嘉昭・山岸 豊（堀場製作所）・松本晋一（エフアイエス）・玉置 純（立命館大学）
3-174- ホール効果測定による半導体薄膜ガスセンサの動作機構に関する研究
- ○植村大蔵・原 和裕（東京電機大学）
3-175- 水素ガスセンサの感応膜の特性評価
- ◎山口富治・紀和利彦・塚田啓二（岡山大学）・中野定樹・右高園子・横澤宏一（日立製作所）
3-176- テラヘルツ電磁波による水素センサー特性評価
- ◎紀和利彦・塚田啓二（岡山大学）・鈴木正人・斗内政吉（大阪大学）・右高園子・横澤宏一（日立製作所）
3-177- FET型水素センサを用いた水素漏洩検知システムの開発
- ○中野定樹・横澤宏一・後藤 康・右高園子・渡辺篤雄・嘉本大五郎（日立製作所）・塚田啓二（岡山大学）
K402-B1 ケミカルセンサ バイオ・イオンセンサ
3月18日 午前 K402会場
3-178- STW素子を用いたバイオセンサの検討
- ○小貝 崇・奈良 誠・谷津田博美（日本無線）・朴 鍾元・愛澤秀信・黒澤 茂（産業技術総合研究所）
3-179- スイレンによる水質浄化特性
- ◎谷 真拓・大薮多可志（金沢星稜大学）
3-180- 大気圧と気流変化に対する植物生体電位応答
- ◎杉中克考（金沢星稜大学）・鶴見佳奈子（安原保育園）・新保達也・大薮多可志（金沢星稜大学）
3-181- 膜電位型味センサに用いる微小化脂質膜電極
- ○江崎 秀・飯山 悟（近畿大学）
3-182- 合成うま味物質に関する味センサ測定
- ○飯山 悟・江崎 秀（近畿大学）・都甲 潔（九州大学）
3-183- 微小流路中におけるアンペロメトリックバイオセンサ出力の挙動
- ◎橋本正利・アパジャーサンジェイ・鈴木博章（筑波大学）
3-184- サンプリング機構を備えたpHおよびプロテアーゼ活性測定システムの構築
- ◎森本克也・鈴木博章（筑波大学）
K402-B2 ケミカルセンサ 匂いセンサ
3月18日 午前 K402会場
3-185- ビットシリアル演算を用いた匂い認識チップに関する研究
- ◎佐藤雅樹・中本高道（東京工業大学）
3-186- Development of Odor Recorder based on Automatic Sampler
- ◎ソンブーンパープン・ウィンスキーバルト・中本高道（東京工業大学）
3-187- 濃縮管と電気化学式センサアレイを用いた低濃度口臭原因物質の識別
- ◎笹谷洋祐・中本高道（東京工業大学）
3-188- 色素膜プレートとマルチLEDセンサを利用した光学式悪臭センシング
- ◎小林一弘・田中幸修・中本高道・森泉豊榮（東京工業大学）・上山智嗣・ W.S.Yerazunis（三菱電機）
3-189- 光学式スキャナとガス検知管を組み合わせたガスセンシングシステムによる低濃度ガスの検出
- ◎田中幸修・中本高道・森泉豊栄（東京工業大学）
3-190- 質量分析器を用いたミント臭の記録
- ◎廣田洋平・中本高道（東京工業大学）