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新しいマイクロ波プラズマ生成と応用　−イントロダクトリートーク−

○菅井秀郎（名古屋大学）

低圧および高圧におけるマイクロ波プラズマ生成

○神藤正士（静岡大学）

表面波プラズマの放電特性とシミュレーション

○桂井 誠・金 載浩・鳥羽孝幸（東京大学）

アンテナ結合とパワー吸収のモデリング

○Ivan GHANASHEV・中井勇祐・E. Abdel-Fattah・菅井秀郎（名古屋大学）

高誘電率導入窓によるマイクロ波プラズマの生成

○進藤春雄・草場康太（東海大学）・品川啓介・古川雅一・河村勝文（キャノン販売）

マイクロ波プラズマの軸対称アンテナ型励起

○津田 睦・大森達夫（三菱電機 先端技術総合研究所）

マイクロ波プラズマの多孔板型励起

○吉田善一（東洋大学）

マイクロ波プラズマのラジアルスロット型励起

○八坂保能・古賀一也（京都大学）・石井信雄（東京エレクトロン）・安藤 真（東京工業大学）・山本哲也（山形大学）・高橋應明（東京農工大学）

微結晶シリコン薄膜作製へのマイクロ波プラズマ応用

○白井 肇・佐久間喜和・吉野浩一・大河原 豪（埼玉大学）・上山寛之（日本高周波）

ダイヤモンド薄膜作製へのマイクロ波プラズマ応用

○永津雅章・牧野雅哉・菅井秀郎（名古屋大学）・丹花通文（東洋鋼鈑）

スパッタ薄膜作製へのECRプラズマ応用

○三宅正司（大阪大学）

LSI微細加工プロセスへのUHF-ECRプラズマ応用

○板橋直志・森 政士・小藤直行・根岸伸幸・横川賢悦・伊澤 勝・田地新一（日立製作所）

表面波プラズマの生成と反応室構造適正化

○加納正明・山崎 修・山内健資・青木克明・山華雅司（東芝 生産技術センター）

光源へのマイクロ波プラズマ応用と課題

○井上昭浩（福井工業高等専門学校）