S12-1

マイクロマシン技術の１０年の歩みと今後の課題

○藤田博之（東京大学生産技術研究所）

マイクロマシンプロジェクトの10年−統括の立場から−

○本間一弘（マイクロマシンセンター 研究部）

マイクロマシンプロジェクトの10年−参加企業として

○柳澤一向（オリンパス光学工業）

事業化の成功例：光マイクロエンコーダ

○澤田廉士（日本電信電話）

事業化の成功例：ビデオプロジェクタ

○歸山敏之（日本テキサス・インスツルメンツ）

米国におけるMEMS技術の企業化分析

○Brett Pokines（ロチェスター大学）