S11-1

イントロダクトリートーク−企画のねらい−

○安達 洋（室蘭工業大学）

X線フラットパネル検出器の原理と医療応用

○望月千織・遠藤忠夫・亀島登志男・森下正和（キャノン）

PdAg/glass梁型水素ガスセンサ

○奥山澄雄・水戸部勇一・本田貴則・奥山克郎・松下浩一（山形大学）

希土類系酸化物超伝導溶融体の作製と超伝導特性

○吉澤秀二・菱沼良光（明星大学）・小早志秀一（同和鉱業）・毛塚博史・畑山省司（東京工科大学）・菊地昌枝（東北大学）・山浦富雄（東京工科大学）

WO₃薄膜のNO_xセンシング特性

○中込真二（石巻専修大学）

ULSI多層配線技術とCMP技術

○林 嘉宏（NEC ）

新規自己整合トレンチプロセスとそのＧＭＲヘッドへの応用

○輿田博明・橋本 進・原 通子・吉川将寿（東芝）

MEMS素子のウエハレベル三次元積層技術

○佐藤倬暢・糸井和久・影山正市・須賀幸男・佐藤昌啓・末益龍夫（フジクラ）

ハイアスペクト比Ｘ線リソグラフィー(LIGA)

○杉山 進（立命館大学）

２１世紀を担うセンサ産業と技術者の取り組み

○藍 光郎（センサ工学研究所）

MICSプロジェクトのファウンドリーサービスの現状と課題

○杉山 進（立命館大学）

産学協同マイクロマシン実用化に向けての提案

○池田恭一（東京農工大学）