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| 10月20日 10:00－11:45 |
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| オープニングセッション |
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| PL-1 |
招待講演 バイオ・マイクロシステムズ（仮） |
C. J. Kim （University of California, Los Angeles） |
| PL-2 |
招待講演 シンガポールにおけるMEMS研究の動向（仮） |
Jianmin Miao (Nanyang Technological University, Singapore) |
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| 10月20日 13:00－15:00 |
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| A1 |
アクチュエータ/MEMS プロセス |
座長：秦 誠一 |
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| A1-1 |
バルクPZTを用いたダイヤフラム型アクチュエータの作製 |
小西隆寛、井出雅人、田中克彦、杉山 進（立命館大学） |
| A1-2 |
ねじり梁を用いた大変位静電駆動スパイラルアクチュエータ
Large Deflection Electrostatic Spiral Actuator with Twisted-Cantilevers |
岡本吉矢、島本延亮、松下裕子、藤田孝之、前中一介、高山洋一郎（兵庫県立大学） |
| A1-3 |
X線リソグラフィとめっき法によるNi製マイクロプローブの作製
－Niめっき材の一定温度、応力下での挙動－ |
木村哲平、服部 正（兵庫県立大学）、吹金原 肇（日本電子材料） |
| A1-4 |
二段階動作片持ち梁RF-MEMSスイッチの開発 |
田内宏憲、鈴木健一郎（立命館大学） |
| A1-5 |
Geometrical Optimization of LIGA Microneedles for Blood Extraction |
Khumpuang Sommawan、洞出光洋、藤岡和也、杉山 進（立命館大学） |
| A1-6 |
Fabrication of High-Aspect-Ratio Planar Microcoil Based on Silicon Molding Technique |
Yonggang Jiang, Takahito Ono and Masayoshi Esashi (Tohoku University) |
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| 10月20日 17:00－18:40 |
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| A2 |
光利用MEMS |
座長：澤田 廉士 |
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| A2-1 |
OCT用電磁駆動型非共振2軸光スキャナの開発 |
三井俊明、渡部善幸、阿部 泰（山形県工業技術センター）、八嶋國夫、中川 亨、梅津枝里子（マイクロトモグラフィー） |
| A2-2 |
高波長選択性を実現したMEMSファブリーペローチューナブルフィルタ |
中村亮介、村田昭浩、矢野邦彦、紙透真一（セイコーエプソン）、鄭 昌鎬（サンテック） |
| A2-3 |
背景光電荷低減構造を有するTime-of-Flight CMOS 距離画像センサ |
牛永健雄、 Izhal Abdul Halin、 澤田友成、 川人祥二（静岡大学）、 本間 充（シャープ）、
前田康成（スズキ） |
| A2-4 |
マイクロミラーに組み込んだピエゾ抵抗型角度センサ |
田端基希、佐々木 実、羽根一博（東北大学） |
| A2-5 |
電荷蓄積機能を備えたフィルタレス蛍光検出センサ |
丸山結城、澤田和明、高尾英邦、石田 誠（豊橋技術科学大学） |
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| 10月20日 13:00－15:00 |
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| B1 |
ナノテクノロジーと新分野 |
座長：安達 洋 |
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| B1-1 |
細胞蛍光計測用ナノ開口アレイ基板における計測領域評価 |
菅 哲朗、星野一憲、松本 潔、下山 勲（東京大学） |
| B1-2 |
ヒアルロン酸分子の静電伸張とAFMによる分子像観察 |
峯田 貴、牧野英司、若松陽雅、菅原 卓、藤 哲、高垣啓一（弘前大学） |
| B1-3 |
水晶振動子を用いた音叉型AFMプローブの基本特性 |
肥田博隆、式田光宏、福澤健二、程 迪、佐藤一雄（名古屋大学）、佐藤健二、小野 淳（東洋通信機）、浅海和雄、入江康朗（みずほ情報総研） |
| B1-4 |
カーボン・ナノチューブの生成方向制御 |
竹井裕介、星野一憲、松本 潔、下山 勲（東京大学） |
| B1-5 |
低電圧駆動ダイヤモンドフィールドエミッション源 |
手塚裕朗、松葉陽平、高橋幸郎（埼玉大学） |
| B1-6 |
パイロポリマーを用いたField Emitter Arraysの電子放出 |
一柳雅生、小西 聡（立命館大学）、橋口 原（香川大学）、根尾陽一郎、三村秀典（静岡大学） |
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| 10月20日 17:00－18:40 |
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| B2 |
企画② ネットワーク・センシング |
座長：安藤 繁 |
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| B2-1 |
移動を活用するネットワーク・センシング |
戸辺義人、鈴木 剛、澤井 圭、鈴木亮平（東京電機大学） |
| B2-2 |
Sensor Networking Using Two-Dimensional Electromagnetic Wave 二次元伝搬電磁波動によるセンサネットワーク構築 |
牧野泰才、南澤孝太、篠田裕之（東京大学） |
| B2-3 |
ディジタル無線インターフェイスを持つカプセル型内視鏡用ワンチップCMOSカメラの試作 |
伊藤真也、川人祥二（静岡大学）、寺川 進（浜松医科大学） |
| B2-4 |
インターネットを利用した分散型の建物構造ヘルスモニタリングシステム |
岡田敬一、白石理人（清水建設） |
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| 10月20日 13:00－15:00 |
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| C1 |
企画① バイオ医療とマイクロ技術 |
座長：藤田 博之/宮原 裕二 |
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| C1-1 |
分子ボトムアップ法を利用したDNAナノ配線および整流素子の構築 |
芳賀正明、町田英明、舎川直哉（中央大学）、和田恭雄、筒井 謙（早稲田大学） |
| C1-2 |
Cell Functional Analysis Using Field Effect Devices |
坂田利弥、宮原裕二（物質・材料研究機構） |
| C1-3 |
高度な生理学的応答取得を目指すマイクロ臓器デバイスの開発 |
酒井康行、阪井仁美、木村啓志、Serge Ostrovidov、Eric Leclerc、藤井輝夫（東京大学） |
| C1-4 |
円筒面微細加工技術を用いた高機能医療ツールの開発 Development of High-Functional Medical Tools Using Cylindrical Fabrication Techniques |
五島彰二、松永忠雄、戸津健太郎、江刺正喜、芳賀洋一（東北大学） |
| C1-5 |
膜タンパク解析のための水滴接触型二分子膜システム |
富名腰敬、鈴木宏明、竹内昌治（東京大学） |
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| 10月20日 17:00－18:40 |
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| C2 |
バイオ・化学センサ |
座長：中本 高道 |
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| C2-1 |
界面張力を利用した集積化送液機構によるバイオ・ケミカルセンシング |
細野裕樹、佐藤 航、鈴木博章（筑波大学） |
| C2-2 |
幹細胞分離システムのためのマイクロ磁気分離デバイスの開発研究 |
井口裕道、鈴木雄二、笠木伸英、鹿園直毅、古川克子、牛田多加志（東京大学） |
| C2-3 |
微少溶液の逐次送液・排出機構とその応用 |
梨子田典弘、鈴木博章（筑波大学） |
| C2-4 |
Improvement of Odor Recorder by Using Automatic Sampler with Multi Components |
ソンブーン・パープン、バート・ウィシンスキ、中本高道（東京工業大学） |
| C2-5 |
PEI/PAA交互吸着膜を用いた水晶振動子式硫黄系ガスセンサ |
戸井 洋、菊地 正志（慶應義塾大学）、白鳥 世明（SNT） |
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| 10月21日 09:00－11:00 |
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| A3 |
企画③ ナノファブリケーション |
座長：磯野 吉正/橋口 原 |
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| A3-1 |
プラズマエッチングの最前線とナノ加工 |
寒川誠二（東北大学） |
| A3-2 |
マイクロポンプを用いた金ナノ粒子創製 |
山田英雄、市橋 治、菅野公二、土屋智由、田畑 修（京都大学） |
| A3-3 |
λDNAをテンプレートとしたDNA-Pｄワイヤの導電特性 |
細木真保、橋口 原（香川大学）、芳賀正明（中央大学）、角嶋邦之（東京工業大学）、米澤 徹、藤田博之（東京大学） |
| A3-4 |
Self-Aligned Bow-Tie Antenna Probe Integrated with Electrostatic Actuator for Optical Near-Field Microscopy |
岩見健太郎、小野崇人、江刺正喜（東北大学） |
| A3-5 |
MEMS対向探針間における金ナノコンタクトの形成・引張・破断の繰り返し実験 |
石田 忠、角嶋邦之、藤田博之（東京大学） |
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| 10月21日 11:10-12:30 |
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| A4 |
流体応用MEMS |
座長：鳥山 寿之 |
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| A4-1 |
マイクロ液滴を用いた定量的液滴形成 |
草川寛之、森 正博、荒川貴博、庄子習一（早稲田大学） |
| A4-2 |
燃焼器と蒸発器とが一体化されたマイクロ燃料改質器 Micro Fuel Reformer Integrated with a Combustor and an Evaporator |
吉田和司、平木 久（松下電工）、田中秀治、江刺正喜（東北大学） |
| A4-3 |
斜め溝を有するマイクロ流路内3次元螺旋流れのCFD解析 |
柳生大輔、佐藤寛暢、庄子習一（早稲田大学） |
| A4-4 |
MEMSプロセスを応用した微小血球計数センサ |
田邊力也（日本光電工業）、秦 誠一、下河邉 明（東京工業大学） |
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| 10月21日 13:30-15:30 |
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| A5 |
物理センサ |
座長：廣田 正樹 |
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| A5-1 |
Dual Axis Accelerometer Utilizing Low Doped Silicon Thermistor |
林田昌丈、Thien X. DINH、DAU Thanh Van、DAO Viet Dzung、杉山 進（立命館大学） |
| A5-2 |
ATカット矩形水晶振動子の小型化とフォースセンサへの応用 |
李 興華、島本尚典、西澤松彦、江刺正喜、安部 隆（東北大学） |
| A5-3 |
水晶マイクロ加工による高感度傾斜角センサ |
幸坂扶佐夫、梁 金星、植田敏嗣（早稲田大学） |
| A5-4 |
A Tactile Element Based on Nonlinear Elasticity to Sense Contact Area 非線形弾性を利用して接触面積を検出する触覚素子 |
星 貴之、篠田裕之（東京大学） |
| A5-5 |
人工触覚の実現を目指す多機能集積型シリコンMEMS触覚センサ |
高尾英邦、澤田和明、石田 誠（豊橋技術科学大学） |
| A5-6 |
45度ミラーを利用したヘモグロビン量測定用マイクロチップの特性評価 |
野田俊彦、高尾英邦、足木光昭、澤田和明、石田 誠（豊橋技術科学大学）、吉岡和憲、奥 成博、松本浩一（堀場製作所） |
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| 10月21日 09:00－11:00 |
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| B3 |
センシングシステム I |
座長：川人 祥二 |
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| B3-1 |
音源定位・分離用近接マイクロフォンアレイの動作時自律校正 |
藤田悠哉、小野順貴、安藤 繁（東京大学） |
| B3-2 |
複数音源の位置推定のためのCSPによる音波到来時間差と音源数の推定 |
三宮大輔、高山潤也、大山真司、小林 彬（東京工業大学）、北野 一（エヌ・ティ・ティファシリティーズ） |
| B3-3 |
A Wide Dynamic Range Image Sensor with a Linear Response in Entire Illumination Range |
Jong Ho Park, Mitsuhito Mase, Shoji Kawahito, Masaaki Sasaki, Yasuo Wakamori
and Yukihiro Ohta (Shizuoka University) |
| B3-4 |
乳癌用触覚センサの開発と触覚情報の画像化システム |
椎名孝行、村山嘉延、尾股定夫（日本大学）、畠山優一、竹之下誠一（福島県立医科大学） |
| B3-5 |
時間相関イメージセンサにおける周波数特性の平均光強度依存性とその補償 |
来海 暁、安東慎介（大阪電気通信大学） |
| B3-6 |
タクタイルマッピングシステムを用いた生体スライス切片の２次元化 |
矢島敏邦、福田 達、村山嘉延、尾股定夫（日本大学） |
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| 10月21日 11:10-12:30 |
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| B4 |
センシングシステム II |
座長：岩岡 秀人 |
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| B4-1 |
磁場の勾配テンソルセンサによる磁気双極子の定位 |
奈良高明、鈴木 智、安藤 繁（東京大学） |
| B4-2 |
センサネットワークにおける電界強度の大小関係情報に基づくノード位置推定 |
山田真太郎、榎本良太、高山潤也、大山真司（東京工業大学） |
| B4-3 |
Cell-Bridge-Based Connection of High Density Sensor Elements セルブリッジによる高密度センサ実装 |
岡田明正、牧野泰才、篠田裕之（東京大学） |
| B4-4 |
音環境認識と一体化した自律的顔認証システムおよびそのネットワーク指向実現 |
千條吉基、宮本賢一、栗原 徹、小野順貴、安藤 繁（東京大学） |
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| 10月21日 13:30-15:30 |
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| B5 |
企画④ 環境センサ |
座長：中西 博昭 |
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| B5-1 |
水素ガスセンサをネットワーク化した水素ステーション用漏洩検知システム |
横澤宏一、中野定樹、後藤 康（日立製作所）、塚田啓二（岡山大学） |
| B5-2 |
レーザアブレーション法を用いたヘテロ構造高温高感度Noxガスセンサ |
高 巍、史 麗琴、長谷川有貴、勝部昭明（埼玉大学） |
| B5-3 |
蒸発的濃縮を利用した微小重金属分析システム |
柳町 勲、梨子田典弘、鈴木博章（筑波大学）、岩佐航一郎（積水化学工業） |
| B5-4 |
農業応用を考えた非接触型赤外線温度分布計測と土壌水分量の関係 |
野田大二、澤田和明、石田 誠（豊橋技術科学大学）、伊藤隆一郎（日本オペレーター） |
| B5-5 |
環境修復のための微小電気化学センサによる微生物細胞の評価手法 |
板山朋聡（国立環境研究所） |
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| 10月21日 09:00－11:00 |
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| C3 |
化学センシングシステム/機能表面 |
座長：土屋 智由 |
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| C3-1 |
電気化学検出回路を内蔵したマイクロ流路型スマートDNA検出チップ |
澤田和明、尾田千草、高尾英邦、石田 誠（豊橋技術科学大学） |
| C3-2 |
電荷転送型pHイメージセンサによる化学反応の2次元動画像化 |
飛沢 健、澤田和明、高尾英邦、石田 誠（豊橋技術科学大学） |
| C3-3 |
モルフォ蝶を規範とした構造発色ディスプレイに関する研究 |
岩瀬英治、松本 潔、下山 勲（東京大学） |
| C3-4 |
Non-Photolithographic Manufacturing Processes for Micro-Channels Functioned by Micro-Contact-Printed SAMS |
三枝宏樹、菅 泰雄、三木則尚（慶應義塾大学） |
| C3-5 |
パーツ表面の帯電制御による順序付きマイクロ自己組立て |
尾上弘晃、星野一憲、松本 潔、下山 勲（東京大学） |
| C3-6 |
スティッキング防止用電着膜形成のための金電極表面処理 |
岡部勇一、阪田知巳、石井 仁、桑原 啓、佐藤昇男、町田克之（ＮＴＴマイクロシステムインテグレーション研究所）、亀井敏和、工藤和久、矢野正樹（ＮＴＴアドバンステクノロジ） |
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| 10月21日 11:10-12:30 |
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| C4 |
材料評価とプロセス |
座長：前中 一介 |
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| C4-1 |
AFM引張り試験による窒化シリコン薄膜の機械特性評価 |
呉 衒珍、磯野吉正（立命館大学）、生津資大（兵庫県立大学）、斎藤吉広、山口 章、福島直幸（住友電気工業） |
| C4-2 |
パイロポリマーを用いた半導体デバイスに関する基礎評価 |
中 圭介、永惠英樹、佐川徹平、吉岡健、小西聡（立命館大学） |
| C4-3 |
Replicable PDMS Molds and Stamps Through Repeated Heat Treatment Processes |
Ok Chan Jeong, Keisuke Naka and Satoshi Konishi (Ritsumeikan University) |
| C4-4 |
Micro Press Molding of Pyrex Glass Using SiC Molds |
Min Kyung-Oh, Shuji Tanaka and Masayosi Esashi (東北大学) |
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| 10月21日 13:30-15:30 |
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| C5 |
リソグラフィ・ウェットエッチング |
座長：船橋 博文 |
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| C5-1 |
ウェハ回転方式によるSi異方性ウェットエッチングの高精度化 |
井上勝之（オムロン） |
| C5-2 |
分子動力学法を用いたシリコンの異方性エッチングシミュレーション |
漆原直樹、垣永貴光、磯野吉正（立命館大学）、田畑 修（京都大学） |
| C5-3 |
Improvement of Photolithography on Anisotropically Etched Silicon (111) Surface |
崔 成熏、佐々木 実、閔 庚山午、田中秀治、羽根一博、江刺正喜（東北大学）、本田那央（日本化薬） |
| C5-4 |
Evaluation of New Ultra-Thick Photoresists |
本田那央、森 哲（日本化薬）、田中秀治、江刺正喜（東北大学） |
| C5-5 |
傾斜回転ステージおよびSU-8による逆ハング構造の作成 |
花井 計、中原 崇、松本佳宣（慶應義塾大学） |
| C5-6 |
SR光を用いた3次元微細加工技術の応用と展開に関する研究 |
洞出光洋、クンプアン・ソマワン、藤岡和也、李 以貴、杉山 進（立命館大学） |
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| 10月21日 |
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| クロージングセッション |
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| PL-3 |
（招待講演）光センサーとその応用－可視・赤外光計測からガンマ線、ニュートリノの検出まで |
山下貴司（浜松ホトニクス 中央研究所） |
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| 10月20日 15:00-17:00 |
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| P |
ポスターセッション |
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