5月30日(木)

10 00 11 40  A会場
P1  オープニングセッション         座長  安藤 繁(東京大学)                

P1-1 (招待講演) MEMS Foundry Services in US
               Michael A. Huff
 (MEMS Exchange)

P1-2 (招待講演) Trends in Microcalorimetric Biosensor
               Bengt Danielsson
Lund University

昼食(11:50〜13:00)

1300 15 20  A会場
A1   企画セッション(1) ナノテクノロジーとセンサ・マイクロマシン  
      
                 座長 江刺 正喜(東北大学)、川合 知二(大阪大学)                    

A1-1 VLS成長技術を用いたナノシリコンワイヤーの形成と微小電子源への応用
     
二川 雅登、新井 祐司、河野 剛士、澤田 和明、石田 誠(豊橋科学技術大学)

A1-2 電解制御によるナノ構造創製と高感度センサーによる物性測定
     
小野 崇人、宮下 英俊、ファン ミンゴ、江刺 正喜(東北大学)

A1-3 五感センサとナノテクノロジー
     
田中 秀和、川合 知二(大阪大学)

A1-4 100万本のナノカンチレバーアレーと100 MHzまでの走査型プローブ顕微法
     
川井 茂樹、佐谷 大輔、加藤 篤、小林 大、年吉 洋、藤田 博之、川勝 英樹(東京大学)
      永塩 正徳(東京電機大学)

A1-5 マイクロマシン応用ナノプローブと超高分解電子顕微鏡によるナノ現象観測
     
橋口 原(香川大学)、和田 恭雄、遠藤 潤二(日立製作所)年吉 洋、藤田 博之(東京大学)

A1-6 高アスペクト比サブ波長格子の製作と光センサへの応用
      
金森 義明、石杜 昌弘、羽根 一博(東北大学)

A1-7 LOCOS/SPM技術を用いた単電子トランジスタ用 Si量子細線の作製とトンネル接合製作技術の開発
     
島本 浩司、磯野 吉正(立命館大学)、橋口 原、三原 豊(香川大学)三村 秀典(東北大学)
     
平本 俊郎、藤田 博之(東京大学)

ポスターセッション

16 50 18 10  A会場
A2  機械量センサ・プロセス                    座長 大和田 邦樹(村田製作所)

A2-1 単結晶シリコンナノワイヤーブリッジのピエゾ抵抗効果の測定
     
鳥山 寿之( NEDO )、船井 大輔、杉山 進(立命館大学)

A2-2 光ジャイロを指向した Si(111)面による光周回路形成法の提案
     
前田 耕平、上田 英喜、藤田 孝之、前中 一介、高山 洋一郎(姫路工業大学)

A2-3 p型 Siエピ基板を用いた一工程三次元構造体製作技術の開発
     
齋藤 文夫、出尾 晋一、大路 浩、堤 和彦(三菱電機)

A2-4 温度ドリフトを低減する定温制御型高温用三軸加速度センサ
     
Kyung-il Lee 、高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

13 00 15 20  B会場
B1  イメージセンサ                             座長 木股 雅章(三菱電機)

B1-1 全周囲カメラ Hyper Omni Vision CMOSイメージセンサ
     
若狭 博資、香川 景一郎、太田 淳、菅 幹生、大城 理、湊 小太郎、布下 正宏、
     千原 國宏(奈良先端科学技術大学院大学)土居 元紀(大阪電気通信大学)

B1-2 非破壊中間画像を用いた CMOSイメージセンサの高感度信号検出方式
     
川人 祥二、河合 信宏、高嶋 大、伊藤 真也、 Dwi Handoko (静岡大学)

B1-3 網膜下埋込方式体内撮像型人工視覚用ビジョンチップの開発
     
上原 昭宏、古宮 哲夫、吉田 典巧、香川 景一郎、太田 淳、布下 正宏
                                    (奈良先端科学技術大学院大学)

B1-4 三相時間相関イメージセンサによる固視微動型ビジョン
     
安藤 繁、小野 順貴(東京大学)、来海 暁(大阪電気通信大学)

B1-5 空間位相変調光源を用いた実時間シングルフレームレンジファインダ
     
五嶋 健治、山本 仁、小野 順貴、安藤 繁(東京大学)

B1-6 AM符号化分光照明を用いたスペクトルマッチングイメージャ
     
来海 暁、石川 陽平、楳原 克哉、北島 佳幸、杉田 信行、福井 篤樹(大阪電気通信大学)

B1-7 高速 ICP多視点距離画像総合アルゴリズム
     
金谷 一朗、千原 國宏(奈良先端科学技術大学院大学)

ポスターセッション

16 50 18 10  B会場
B2  光センシング                              座長 白水 俊次(長野高専)

B2-1 静電駆動型広帯域波長可変ファブリ・ペローフィルター
     
鈴木 健太郎、岸 直輝、野呂 誠、原 仁、渡辺 哲也、岩岡 秀人(横河電機)

B2-2 Integrated micro lens at the cores of optical fiber bundle for optical fiber based applications
     
Phan Ngoc Minh Takahito Ono Yoichi Haga Kazuhiro Hane Masayoshi Esashi (東北大学)

B2-3 赤外線照射による PZT薄板からの電界放出電子の画像化
     
高室 大介、冨田 勝彦、高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

B2-4 微細 Au-black吸収膜を用いた 120× 90画素サーモパイル型赤外線センサアレイ
     
廣田 正樹、中島 靖志、広瀬 志恵、齋藤 誠則、佐藤 文紀、内山 誠(日産自動車)

13 00 15 20  C会場
C1  バイオ・ケミカルセンサデバイス               座長 中本 高道(東京工業大学)

C1-1 (招待講演) スーパー抗体の開発とセンサ用分子設計
               
宇田 泰三(広島県立大学)

C1-2 マイクロ化学リアクタを指向した液中微小液滴生成手法
     
西迫 貴志、鳥居 徹、樋口 俊郎(東京大学)

C1-3 Gas Adsorption Filter using Layer-by-Layer Sequential Adsorption Method
    for the Protection of Sensitive Gas Sensors
       白鳥 世明、菊地 正志、片桐 浩、渋江 明(慶應義塾大学)

C1-4 水中匂い源探知コンパスの研究
     
伊藤 誠悟、石田 寛、森泉 豊榮(東京工業大学)

C1-5 リン酸ジルコニウムを用いた多孔質ガスセンサ
     
櫛田 慎哉、白鳥 世明(慶應義塾大学)

C1-6 ガス濃度分布計測システムの設計法に関する研究
     
辻田 亘、中本 高道、石田 寛、森泉 豊榮(東京工業大学)

ポスターセッション

16 50 18 10  C会場
C2  化学センサ                               座長 古田土 節夫(アンリツ)

2-1 自己温度制御型湿度センサ2
     
金子 文隆、酒井 康徳(湘南工科大学)山崎 貴(国士舘大学)、難波 典之(関東学院大学)

2-2 水晶振動子型センサを用いた揮発性環境試料の簡易分析法
     
長縄 竜一、野田 和俊、田尾 博明(産業技術総合研究所)

2-3 生体電位による植物の空気汚染浄化能力の研究
     
長谷川 有貴、内田 秀和、浅田 茂裕、勝部 昭明(埼玉大学)

2-4 パーコレーション現象を利用した匂いセンサの開発
     
釘宮 雄一、林 健司、都甲 潔(九州大学)

15 20 16 50  P会場
 
Po   ポスターセッション  

Po- 高安定性 Ni箔温度センサーの開発
     
岡本 透、座間 松雄、市田 俊司(アルファ・エレクトロニクス)

Po- InAsP/InP 多重量子井戸赤外検出器用エピウェハの MOVPE成長
     
和田 守夫、荒木 昌二郎、工藤 貴裕、梅沢 俊匡、中島 眞一、植田 敏嗣(横河電機)

Po- 医療画像診断システム用 BaFI:Eu2+ イメージングプレートの輝尽発光特性
     
荒木 健、大門 正和、上條 圭一、更井 発、草野 英二、金原 粲、南戸 秀仁(金沢工業大学)
     中野 寧(コニカ)

Po- Bulk micromachine技術を応用した高感度 X線検出器
     
田中 啓一、師岡 利光(エスエスアイ・アール・ディー・センター)
    中山 哲、芽根 一夫(セイコーインスツルメンツ)

Po -5 有害ガスの吸着量測定のためのセラミックセンサの開発
     
吉村 忠与志、土山 耕大、宗京 重芳(福井高専)

Po -6フローインジェクションカロリメトーによる L-リシンのバイオセンシング
     
佐藤 生男(神奈川工科大学)三村 龍夫(ギガフォトン)荒川 秀治(小松)岡本 晃(小松セミコン)

Po -7 ガスセンサを用いた大気環境測定システムの研究
     
石田 寛、川島 学、森泉 豊榮(東京工業大学)

Po -8 光ファイバによる界面活性剤の吸着現象を利用した臨界ミセル濃度検出センサ
     
柴田 優、長谷川 俊英、藤波 達雄、荻田 正巳(静岡大学)

Po -9 樹脂を用いたマイクロ電気泳動チップの作製
     
内海 裕一、尾崎 元章、服部 正、寺部 茂(姫路工業大学) 篠原 悦夫(オリンパス光学)

Po -10 細胞刺入抵抗測定用マイクロプローブ
     
土肥 徹次、下山 勲(東京大学)

Po -11 熱線式加速度センサの高感度化に関する研究
     
伊藤 裕貢、飯田 靖、渡辺 勝、池田 恭一(東京農工大学)

Po -12 比演算回路を用いた高分解能差動型圧力センサ
     
石居 真、渡辺 正恭、宮崎 芳郎、加藤 博照(矢崎総業)

Po -13 低電圧で大変形する静電マイクロアクチュエータに関する研究
     
安田 隆、宮本 雅郎(九州工業大学)

Po -14 静電気力によるプラスチックディスクモータ
     
朴 宏烈、山本 晃生、樋口 俊郎(東京大学)

Po -15 ループ型マイクロ流路におけるサーマルポンプシステム
     
横山 吉典、武田 宗久、梅本 俊行、大串 哲朗(三菱電機)

Po-16 Self-Assembled Monolayer as Anti-Stiction Coatings for RF MEMS using Micro Gold Structure
     
Jung Mu Kim Chang-Woo Baek Jae Hyoung Park Yong-Kweon Kim Dongsik Sin Yoonsik Lee
                                                         (Seoul National University)

Po-17 Smooth surface glass etching by deep RIE with SF6 /Xe gas
      李 麗、安部 隆、李 興華、江刺 正喜(東北大学)

Po-18 静電検出・静電駆動における傾斜電極構造の作製
     
井関 隆之(日本ビクター)

Po-19 移動マスク X線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターンの決定法
     
松塚 直樹、山路 忠寛、田畑 修(立命館大学)

Po-20 LIGAプロセスにおける微細構造体の面粗度
     
銘苅 春隆、山田 隆史、閻 松、服部 正(姫路工業大学)

Po-21 形状記憶合金薄膜駆動型マイクロブレーカーの作製プロセス
     
池田 哲、杉山 佳延(大分県産業科学技術センター)岡田 正孝(島田電子工業)、藤本 公三(大阪大学)

Po-22 Low Stress TEOS/Ozone PECVD Oxide for Deep Trench Filling
     
張 建六、安倍 隆、江刺 正喜(東北大学)

Po-23 モールド型フィールドエミッション源
     
田蔦 大介、坂井 雄一、高橋 幸郎(埼玉大学)

Po-24 光無線 LAN用フォーカス読出し方式ビジョンチップの開発
     
香川 景一郎、西村 智博、平井 隆夫、太田 淳、布下 正宏(奈良先端科学技術大学院大学)
       山嵜 康司、山田 雅史、杉下 正蔵、渡辺 國寛(マイクロシグナル)

Po-25 二値量子化による多数成分臭の記録・再生システム
     
山中 高夫、松本 良輔、中本 高道(東京工業大学)

Po-26 A Radio-Frequency Tag System For Object Identification and Registration
      
Mustapha Boukraa 、安藤 繁(東京大学)

Po-27 A Neuromorphic Active Vision System Using Artificial Retina Chip and SMA Actuator
      
Jang-Kyoo Shin Won-Cheol Kim Hyun-Soo Kim Minho Lee(Kyungpook National University)
        Hiroo Yonezu
(豊橋技術科学大学)

5月31日(金)

09 00 10 20  A会場
A3  マイクロマシニング (1)                     座長 前中一介(姫路工科大学)

A3-1 セルラー・オートマトンを用いたシリコン異方性エッチングシミュレーション
     
垣永 貴光、馬場 教彰、田畑 修、磯野 吉正(立命館大学) K.Ehrmann J.Korvink (フライブルク大学)

A3-2 XeF2を用いた Siエッチングにおける表面粗さと加工深さの制御
     
菅野 公二、田畑 修(立命館大学)

A3-3 犠牲層エッチングから撥水性コーティングまでのオールドライ処理技術
     
島岡 敬一、坂田 二郎、光嶋 康一(豊田中央研究所)

A3-4 Scanning Diamond Probe for Nano-Processing
      ● 峻瑩、小野 崇人、江刺 正喜(東北大学)

A3-5 MEMS技術を用いた LSIテスト用微細プローブ・ピンの開発
     
蛸島 武尚、前田 泰宏(アドバンテスト研究所)奈良崎 亘、和田 晃一、
        北爪 秀憲(アドバンテスト)江刺 正喜(東北大学)秦 誠一、下河辺 明(東京工業大学)

休憩 (10201030

10 30 12 30  A会場
A4  マイクロマシニング (2)                      座長 田畑 修(立命館大学)

A4-1 LIGAプロセスによるマイクロモールドを用いた粉末焼結法
     
宮野 公樹、多賀谷 和範、川瀬 和典、飴山 惠、杉山 進(立命館大学)

A4-2 電解析出法の最適化と高アスペクト比ニッケル LIGA金型への応用
     
北谷 武(佐和鍍金工業)内海 裕一、服部 正(姫路工業大学)

A4-3 Micro Hole Forming Process using a silicon-mold & Electrodeposition photoresist
     安井 学、平林 康男(神奈川県産業技術総合研究所)三田 信、角嶋 邦之、藤田 博之(東京大学)

A4-4 反応性イオンエッチング法による貴金属、磁性金属材料の微細加工
     
安部 隆、篠田 賢治、小林 伸聖、矢野 健、洪 連基、江刺 正喜(東北大学)

A4-5 窒化タンタル薄膜抵抗を形成したシリコンオプティカルベンチの開発
     
明石 照久、竹盛 英昭、小泉 俊晃、東山 賢史(日立製作所)

昼食 (12301330

13 30 15 30  A会場
A5  企画セッション(3) 光 MEMS 技術
                              座長 澤田 廉士( NTT通信エネルギー研究所)

A5-1 45度シリコン傾斜へのフォトリソグラフィに関する研究
     
角 篤司、坂井 智彦、松本 佳宣(慶應義塾大学)

A5-2 超音波振動による光ファイバの位置決め
     
中村 健太郎、植之原 裕行、宮本 智之(東京工業大学)

A5-3 リボン状アクチュエータを用いた光スイッチ
     
平田 嘉裕、沼澤 稔之、三浦 宏介(住友電気工業)

A5-4 ミラー保持機構を備えた光スイッチ
     
馬場 亮吉、高橋 龍太、村上 和也、中居 久典(日立電線)江刺 正喜(東北大学)

A5-5 立体的マイクロ光学ベンチと組み合わせた光スキャナ
     
佐々木 実(東北大学)

A5-6 ウェアラブル生体情報計測用超小型マイクロ血流センサ
     
日暮 栄治、澤田 廉士、伊藤 高廣( NTT 通信エネルギー研究所)

休憩 (15301540

09 00 10 20  B会場
B3  物理センシング                           座長 安達 洋(室蘭工業大学)

B3-1 多角形薄板の付着評価式と付着耐性の理論的考察
     
手塚 信一郎(横河電機)

B3-2 光導波路屈折率分布の高精度計測
     
陳 軍(東京工芸大学)遠藤 潤二(日立基礎研究所)藤田 博之(東京大学)

B3-3 単結晶シリコン薄膜二重注入型ダイオード磁気センサ
     
瀬野尾 和隆、木村 光照(東北学院大学)

B3-4 背面入射フィールドエミッタ型光センサアレイの製作と評価
     
小野 貴史、森安 嘉貴、高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

B3-5 エアブリッジ型マイクロヒータに搭載したサーミスタ的 pn接合温度センサ
     
豊島 克久、藤原 茂美、木村 光照(東北学院大学)

休憩 (10201030

1030 12 30  B会場
B4  企画セッション(2) ユビキタス自動認識タグとその展開 
                    座長 安藤 繁(東京大学)小池 勉(日本自動認識システム協会)

B4-1 自動認識利用技術の今後の展望
     
平本 純也(アイニックス)

B4- RFタグを用いた物品のライフサイクル管理
     
寺浦 信之(デンソーウェーブ)

B4-3 次世代型多目的 ICカードの展開 −ユビキタス社会のキーテクノロジー―
       細田 泰弘(NTTコミュニケーションズ)

B4-4 ICカード出改札システム Suica導入と今後の展開について
     
瓜生原 信輔(東日本旅客鉄道)

B4-5 円形タグとネットワークを利用したオブジェクトの幾何学情報獲得
     
本谷 秀堅、中川 宗栄、高橋 洋之助、新重 太一、古閑 敏夫(山形大学)

昼食 (12301330

13 30 15 30  B会場
B5  センシングシステム               座長 鈴木 義彦(大阪産業技術総合研究所)

B5-1 スマート神経電位センサ用 Si(111)への集積化信号検出回路
     
加藤 陶子、河野 剛士、伊藤 芳晃、足木 光昭、高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

B5-2 集積化に適したシリコンマイクロバルブと機能的流体集積回路の形成
     
高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

B5-3 極細径光ファイバ血圧センサおよび検出システムの開発
     
戸津 健太郎、芳賀 洋一、江刺 正喜(東北大学)

B5-4 光触覚素子による無結線触覚センシング
     
山田 康一、中嶋 宜樹、越田 信義(東京農工大学)五嶋 健治、篠田 裕之(東京大学)

B5-5 二次元通信層を利用する人工皮膚
     
箱崎 光弘、松本 圭司、篠田 裕之(東京大学)

B5-6 ジンバル構造を利用したヤドリバエ型音源定位センサの理論と検証
     
小野 順貴、斎藤 章人、安藤 繁(東京大学)

休憩 (15301540

09 00 10 20  C会場
C3  マイクロアクチュエータ                      座長 熊田 明生(ピエゾテック)

C3-1 バルクマイクロマシニング技術を利用したアレイ型エアーフローアクチュエータ
     
荒井 誠、福田 和人、三田 吉郎、アニエス・テクシエ、藤田 博之(東京大学)

C3-2 直立平面コイルアクチュエータアレイ
     
竹内 昌治、下山 勲(東京大学)

C3-3 SOI基板によるハードディスクヘッドの位置決め機構
     
年吉 洋、三田 信、藤田 博之(東京大学)

C3-4 Aluminium nitride based piezoelectric microactuators
     
Jan H. Kuypers 、小野 崇人、江刺 正喜(東北大学)

C3-5 LiNbO3 Micro-Actuator Systems
     
Brett J Pokines Andrew Randles Asish Singh Rochester Institute of Technology

休憩 (10201030

1030 12 30  C会場
C4  超音波センサ・バイオマイクロプローブ 
                              座長 大城 理(奈良先端科学技術大学院大学)

C4-1 血管内前方視超音波プローブの製作
     
藤田 匡佑、金 昌●、中村 和浩、芳賀 洋一、江刺 正喜(東北大学)

C4-2 有機圧電膜 P(VDF-TrFE)の微細加工とマイクロデバイスへの応用
     
寺田 麻衣香、與田 光宏、川崎 公嗣、小西 聡(立命館大学)坂本 眞一(東レテクノ)

C4-3 熱誘起型デバイスによる強力超音波の発生
     
浅村 直也、サマン・キールティ、右田 達夫、越田 信義(東京農工大学)篠田 裕之(東京大学)

C4-4 周波数チューニングされた超音波アレイセンサによる物体位置計測
     
村上 英之、山下 馨、福永 寿朗、奥山 雅則、青柳 誠司、鈴木 義彦(大阪大学)

C4-5 神経電位測定チップを目指した細胞挿入型 Siプローブ電極の構築と評価
     
河野 剛士、加藤 陶子、二川 雅登、谷 良司、高尾 英邦、澤田 和明、石田 誠(豊橋技術科学大学)

昼食 (12301330

13 30 15 30  C会場
C5  パワー MEMS                             座長 田中 秀治(東北大学)

C5-1 MEMS-Based Micro-Polymer Electrolyte Fuel Cell
      閔 慶福、田中 秀治、江刺 正喜(東北大学)

C5-2 MEMS-based fuel reformer
       張 貴松、田中 秀治、江刺 正喜(東北大学)

C5-3 レシプロエンジン型マイクロパワージェネレータの設計
     
橋本 圭嗣、仲野 聡、鳥山 寿之、杉山 進(立命館大学)

C5-4 マイクロタービンの高速化に関する研究
     
原 基揚、田中 秀治、江刺 正喜(東北大学)

休憩 (15301540

15 40 16 40  A会場
P 2 クロージングセッション             座長 杉山佳延(大分県産業科学技術センター)

P2-1 (招待講演)
            
安藤 幹雄( USJ

五十嵐賞受賞者発表