| 5月30日(木) | 
| 
 10
 :
 00〜
 11:
 40 
 A会場 
 P1-1         (招待講演)
 MEMS        Foundry Services in US 
 P1-2         (招待講演)
 Trends        in Microcalorimetric Biosensor | 
| 昼食(11:50〜13:00) | 
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 13
 :00
 〜
 15:
 20 
 A会場 
 A1-1        VLS成長技術を用いたナノシリコンワイヤーの形成と微小電子源への応用 
 A1-2 電解制御によるナノ構造創製と高感度センサーによる物性測定 
 A1-3 五感センサとナノテクノロジー 
 A1-4        100万本のナノカンチレバーアレーと100
 MHzまでの走査型プローブ顕微法 
 A1-5 マイクロマシン応用ナノプローブと超高分解電子顕微鏡によるナノ現象観測 
 A1-6         高アスペクト比サブ波長格子の製作と光センサへの応用 
 A1-7        LOCOS/SPM技術を用いた単電子トランジスタ用
 Si量子細線の作製とトンネル接合製作技術の開発 | 
| ポスターセッション | 
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 16
 :
 50〜
 18:
 10 
 A会場 
 A2-1         単結晶シリコンナノワイヤーブリッジのピエゾ抵抗効果の測定 
 A2-2 光ジャイロを指向した
 Si(111)面による光周回路形成法の提案 
 A2-3 p型
 Siエピ基板を用いた一工程三次元構造体製作技術の開発 
 A2-4         温度ドリフトを低減する定温制御型高温用三軸加速度センサ | 
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 13
 :
 00〜
 15:
 20 
 B会場 
 B1-1         全周囲カメラ
 Hyper        Omni Vision用
 CMOSイメージセンサ 
 B1-2 非破壊中間画像を用いた
 CMOSイメージセンサの高感度信号検出方式 
 B1-3 網膜下埋込方式体内撮像型人工視覚用ビジョンチップの開発 
 B1-4 三相時間相関イメージセンサによる固視微動型ビジョン 
 B1-5 空間位相変調光源を用いた実時間シングルフレームレンジファインダ 
 B1-6        AM符号化分光照明を用いたスペクトルマッチングイメージャ 
 B1-7 高速
 ICP多視点距離画像総合アルゴリズム | 
| ポスターセッション | 
| 
 16
 :
 50〜
 18:
 10 
 B会場 
 B2-1         静電駆動型広帯域波長可変ファブリ・ペローフィルター 
 B2-2        Integrated micro lens at the cores of optical fiber bundle for 
optical        fiber based applications 
 B2-3 赤外線照射による
 PZT薄板からの電界放出電子の画像化 
 B2-4         微細
 Au-black吸収膜を用いた
 120×
 90画素サーモパイル型赤外線センサアレイ | 
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 13
 :
 00〜
 15:
 20 
 C会場 
 C1-1 (招待講演) スーパー抗体の開発とセンサ用分子設計 
 C1-2 マイクロ化学リアクタを指向した液中微小液滴生成手法 
 C1-3        Gas Adsorption Filter using Layer-by-Layer Sequential Adsorption 
Method  
 C1-4 水中匂い源探知コンパスの研究 
 C1-5 リン酸ジルコニウムを用いた多孔質ガスセンサ 
 C1-6         ガス濃度分布計測システムの設計法に関する研究 | 
| ポスターセッション | 
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 16
 :
 50〜
 18:
 10 
 C会場 C
 2-1         自己温度制御型湿度センサ2 C
 2-2         水晶振動子型センサを用いた揮発性環境試料の簡易分析法 C
 2-3         生体電位による植物の空気汚染浄化能力の研究 C
 2-4         パーコレーション現象を利用した匂いセンサの開発 | 
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 15
 :
 20〜
 16:
 50 
 P会場 
 Po-1
  高安定性
 Ni箔温度センサーの開発 
 Po-2
  InAsP/InP
 多重量子井戸赤外検出器用エピウェハの
 MOVPE成長 
 Po-3
  医療画像診断システム用
 BaFI:Eu2+
 イメージングプレートの輝尽発光特性 
 Po-4
         Bulk micromachine技術を応用した高感度
 X線検出器 
 Po        -5 有害ガスの吸着量測定のためのセラミックセンサの開発 
 Po        -6フローインジェクションカロリメトーによる
 L-リシンのバイオセンシング 
 Po        -7 ガスセンサを用いた大気環境測定システムの研究 
 Po        -8 光ファイバによる界面活性剤の吸着現象を利用した臨界ミセル濃度検出センサ 
 Po        -9 樹脂を用いたマイクロ電気泳動チップの作製 
 Po        -10 細胞刺入抵抗測定用マイクロプローブ 
 Po        -11 熱線式加速度センサの高感度化に関する研究 
 Po        -12 比演算回路を用いた高分解能差動型圧力センサ 
 Po        -13 低電圧で大変形する静電マイクロアクチュエータに関する研究 
 Po        -14 静電気力によるプラスチックディスクモータ 
 Po        -15 ループ型マイクロ流路におけるサーマルポンプシステム 
 Po-16        Self-Assembled Monolayer as Anti-Stiction Coatings for RF MEMS 
using Micro        Gold Structure 
 Po-17        Smooth surface glass etching by deep RIE with SF6
 /Xe gas 
 Po-18         静電検出・静電駆動における傾斜電極構造の作製 
 Po-19 移動マスク
 X線リソグラフィーにおける最適マスク移動パターンの決定法 
 Po-20        LIGAプロセスにおける微細構造体の面粗度 
 Po-21 形状記憶合金薄膜駆動型マイクロブレーカーの作製プロセス 
 Po-22        Low Stress TEOS/Ozone PECVD Oxide for Deep Trench Filling 
 Po-23 モールド型フィールドエミッション源 
 Po-24 光無線
 LAN用フォーカス読出し方式ビジョンチップの開発 
 Po-25 二値量子化による多数成分臭の記録・再生システム 
 Po-26        A Radio-Frequency Tag System For Object Identification and
Registration 
 Po-27        A Neuromorphic Active Vision System Using Artificial Retina 
Chip and SMA        Actuator | 
| 5月31日(金) | 
| 
 09
 :
 00〜
 10:
 20 
 A会場 
 A3-1         セルラー・オートマトンを用いたシリコン異方性エッチングシミュレーション 
 A3-2        XeF2を用いた
 Siエッチングにおける表面粗さと加工深さの制御 
 A3-3 犠牲層エッチングから撥水性コーティングまでのオールドライ処理技術 
 A3-4        Scanning Diamond Probe for Nano-Processing 
 A3-5        MEMS技術を用いた
 LSIテスト用微細プローブ・ピンの開発 | 
| 休憩 (10 :20 〜10 :30 ) | 
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 10
 :
 30〜
 12:
 30 
 A会場 
 A4-1        LIGAプロセスによるマイクロモールドを用いた粉末焼結法 
 A4-2 電解析出法の最適化と高アスペクト比ニッケル
 LIGA金型への応用 
 A4-3        Micro Hole Forming Process using a silicon-mold & Electrodeposition 
       photoresist 
 A4-4         反応性イオンエッチング法による貴金属、磁性金属材料の微細加工 
 A4-5         窒化タンタル薄膜抵抗を形成したシリコンオプティカルベンチの開発 | 
| 昼食 (12 :30 〜13 :30 ) | 
| 
 13
 :
 30〜
 15:
 30 
 A会場 
 A5-1 45度シリコン傾斜へのフォトリソグラフィに関する研究 
 A5-2 超音波振動による光ファイバの位置決め 
 A5-3 リボン状アクチュエータを用いた光スイッチ 
 A5-4 ミラー保持機構を備えた光スイッチ 
 A5-5 立体的マイクロ光学ベンチと組み合わせた光スキャナ 
 A5-6         ウェアラブル生体情報計測用超小型マイクロ血流センサ | 
| 休憩 (15 :30 〜15 :40 ) | 
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 09
 :
 00〜
 10:
 20 
 B会場 
 B3-1         多角形薄板の付着評価式と付着耐性の理論的考察 
 B3-2 光導波路屈折率分布の高精度計測 
 B3-3 単結晶シリコン薄膜二重注入型ダイオード磁気センサ 
 B3-4 背面入射フィールドエミッタ型光センサアレイの製作と評価 
 B3-5         エアブリッジ型マイクロヒータに搭載したサーミスタ的
 pn接合温度センサ | 
| 休憩 (10 :20 〜10 :30 ) | 
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 10
 :30
 〜
 12:
 30 
 B会場 
 B4-1 自動認識利用技術の今後の展望 
 B4-2
  RFタグを用いた物品のライフサイクル管理 
 B4-3 次世代型多目的
 ICカードの展開 −ユビキタス社会のキーテクノロジー― 
 B4-4 ICカード出改札システム Suica導入と今後の展開について 
 B4-5 円形タグとネットワークを利用したオブジェクトの幾何学情報獲得 | 
| 昼食 (12 :30 〜13 :30 ) | 
| 
 13
 :
 30〜
 15:
 30 
 B会場 
 B5-1         スマート神経電位センサ用
 Si(111)への集積化信号検出回路 
 B5-2 集積化に適したシリコンマイクロバルブと機能的流体集積回路の形成 
 B5-3 極細径光ファイバ血圧センサおよび検出システムの開発 
 B5-4 光触覚素子による無結線触覚センシング 
 B5-5 二次元通信層を利用する人工皮膚 
 B5-6         ジンバル構造を利用したヤドリバエ型音源定位センサの理論と検証 | 
| 休憩 (15 :30 〜15 :40 ) | 
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 09
 :
 00〜
 10:
 20 
 C会場 
 C3-1         バルクマイクロマシニング技術を利用したアレイ型エアーフローアクチュエータ 
 C3-2 直立平面コイルアクチュエータアレイ 
 C3-3        SOI基板によるハードディスクヘッドの位置決め機構 
 C3-4        Aluminium nitride based piezoelectric microactuators 
 C3-5        LiNbO3       Micro-Actuator Systems | 
| 休憩 (10 :20 〜10 :30 ) | 
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 10
 :30
 〜
 12:
 30 
 C会場 
 C4-1 血管内前方視超音波プローブの製作 
 C4-2 有機圧電膜
 P(VDF-TrFE)の微細加工とマイクロデバイスへの応用 
 C4-3 熱誘起型デバイスによる強力超音波の発生 
 C4-4 周波数チューニングされた超音波アレイセンサによる物体位置計測 
 C4-5         神経電位測定チップを目指した細胞挿入型
 Siプローブ電極の構築と評価 | 
| 昼食 (12 :30 〜13 :30 ) | 
| 
 13
 :
 30〜
 15:
 30 
 C会場 
 C5-1        MEMS-Based Micro-Polymer Electrolyte Fuel Cell 
 C5-2        MEMS-based fuel reformer 
 C5-3 レシプロエンジン型マイクロパワージェネレータの設計 
 C5-4         マイクロタービンの高速化に関する研究 | 
| 休憩 (15 :30 〜15 :40 ) | 
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 15
 :
 40〜
 16:
 40 
 A会場 
 P2-1         (招待講演) 五十嵐賞受賞者発表 |