| S.6 プロセス産業におけるリニアモータの適用 | |
|---|---|
| S.6-1 プロセス産業とリニアモータ（総論） | 正田英介（東京大学） |
| S.6-2 鉄鋼プロセスへのリニアモータの適用開発例 | ○片岡冬里・名定敏夫・米山泰章（新日鉄） |
| S.6-3 非鉄金属プロセスへのリニアモータ適用開発例 | 鴫原重之（神鋼電機） |
| S.6-4 半導体製造プロセスへのリニアモータ適用開発例 | 松田隆一（NTT電子応用研究所） |
| S.6-5 粉体製造プロセスにおけるリニアモータ適用開発例 | ○米澤栄一・高橋武男・芳賀敬二 （富士電機総合研究所） |
| S.6-6 無重力場生産プロセスのためのリニアモータ応用の基礎 | 吉田欣二郎（九州大学） |