Development and Application of Composite Multi-Layered PZT Thin Films

…………………Li Li, Seiji Aoyagi, Yasuhiko Arai, Norio Tagawa 1

超音波センサを用いた浴槽内での異常検知システムの改善

…………………土橋裕樹，田嶋拓也，阿部武彦，南保英孝，木村春彦 6

基板内部で屈曲，分岐した構造を持つAu-Sn充填貫通配線

…………………山本　敏，額賀　理，脇岡寛之，末益龍夫，橋本廣和 14

振子機構を用いた材料試験

…………………伊藤　瞳，藤井雄作，山口誉夫，杉田陽市，横田正幸 22

国際会議報告
IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2008

.....................佐々木実 29

研究室だより
株式会社　日立製作所　機械研究所

.....................原田　武，富樫盛典 30

兵庫県立大学 大学院工学研究科機械系工学専攻機械知能工学部門 材料知能設計研究グループ

.....................生津資大 32

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 33

特集号の論文募集
共通英文論文誌「State-of-the-art MEMS Technologies」特集

..................... 34

非対称シリコン・マイクロミラーを用いためがね型網膜ディスプレイ

…………………山田恵三，栗山敏秀 35

静電容量型6軸力覚センサの開発

…………………角谷哲哉，田中　篤，江良　聡，永井　努，佐伯和司，岡田和廣 41

LB膜を用いた味覚センサ混合味識別の一検討

…………………長谷部智，平田孝道，秋谷昌宏 47

5個のフォトダイオードを用いて太陽をサーチする光センサ

…………………丹保豊和，柴田　幹，水野雄太，山内豊大 53

国際会議報告
The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Science (μTAS 2008) 報告

.....................森本雄矢 60

研究室だより
東北大学大学院工学研究科バイオロボティクス専攻　新井研究室

..................新井史人 61

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 62

平成21年度総合研究会開催案内および講演募集（第1報）

..................... 表3

Debris-Free High-Speed Laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS

…………………Yusaku Izawa, Yosuke Tsurumi, Shuji Tanaka, Hideyuki Fukushi, Keiichi Sueda, Yoshiki Nakata, Masayoshi Esashi, Noriaki Miyanaga, Masayuki Fujita 63

Development and Evaluation of Microfluidic Device for Mn Ion Quantification in Ocean Environments

…………………Tatsuhiro Fukuba, Christophe Provin, Kei Okamura, Teruo Fujii 69

Design Optimization and Evaluation of a Bioluminescence Detection Part on a Microfluidic Device for in situ ATP Quantification

…………………Yusuke Aoki, Tatsuhiro Fukuba, Takatoki Yamamoto, Teruo Fujii 73

MBE Fabrication of GaN-Based Light Emitting Diode on MOCVD Grown GaN-on-Si Template and Application for Optical MEMS

…………………Masashi Wakui, Ryousuke Ito, Fang Ren Hu, Hidehisa Sameshima, Kazuhiro Hane 77

Feasibility Study of Micro-Actuator Using Electro Conducting Polymers

…………………Junji Sone, Akihisa Asami, Gyosuke Kimura, Katsumi Yamada 81

オレイン酸電着水晶振動子の発振周波数特性に基づく味センシング

…………………向　恵一，三澤顕次，北間正崇，山下政司，有澤準二 83

シンポジウム報告
第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム

.....................橋口　原，土屋智由，高尾英邦 91

国際会議報告
IEEE Sensors 2008 国際会議報告

.....................松本佳宣 99

研究室だより
株式会社フジクラ　電子デバイス研究所

.....................橋本廣和 100

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 101

新進研究者の投稿論文に対する掲載別刷代割引のお知らせ
新進研究者の投稿論文の表彰制度のお知らせ

..................... 102

平成21年度総合研究会開催案内および講演募集（第2報）

..................... 103

センサ・マイクロマシン部門編修委員会からのお礼

..................... 104

Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Lead Zirconate Titanate Thin Films for MEMS Application

…………………Jian Lu, Yi Zhang, Tsuyoshi Ikehara, Toshihiro Itoh,
Ryutaro Maeda, Takashi Mihara 105

Hydrogen Selectivity of a Proton-Pumping Gate FET Hydrogen Sensor in an AC Modulation Mode

…………………Tomiharu Yamaguchi, Masanori Takisawa, Toshihiko Kiwa, Hironobu Yamada, Keiji Tsukada 110

Sensing System for Multiple Measurements of Trace Elements Using Laser-Induced Breakdown Spectroscopy

…………………Satoshi Ikezawa, Muneaki Wakamatsu,
Joanna Pawlat, Toshitsugu Ueda 115

Fabrication of Subwavelength Gratings on Silicon Micro Lenses for MEMS Scanners at Optical Communication Wavelengths

…………………Yoshiaki Kanamori, Mao Miura, Kazuhiro Hane 120

国際会議報告
Power MEMS 2008＋μEMS2008 国際会議報告

.....................岡本　洋 125

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 126

特集号の論文募集
「感性ナノセンシングデバイス」特集
平成21年度総合研究会開催案内（第3報）

..................... 127

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム開催および講演募集のお知らせ

..................... 128

時間相関イメージングとその応用

…………………安藤　繁，来海　暁 129

Stress Control of Silicon Membrane for Optical Scanner with Deformable Mirror

…………………Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane 138

Developing a Wearable System with MEMS Accelerometer for Real-Time Activity Monitoring

…………………Ranjith Amarasinghe, Dzung Viet Dao, Susumu Sugiyama 142

カーボンナノチューブ (CNT) を用いた抗原−抗体センサの研究

…………………網屋庄二，平田孝道，秋谷昌宏 148

イオン液体含有高分子膜を用いた苦味センサの開発

…………………芥川暢之，戸井田仁一，天野良彦，池崎秀和，都甲　潔，蟻川幸彦 154

正逆回転が可能なダブル羽根光圧回転体の提案と基本特性

…………………浮田宏生，伊部勇作，大西貴和 161

国際会議報告
4th IEEE International Conference on Nano /
Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE-NEMS 2009) 国際会議報告

.....................新井史人 167

研究室だより
国立大学法人 東京医科歯科大学 生体材料工学研究所 計測分野

.....................三林浩二，工藤寛之 168

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 169

特集号の論文募集
「マイクロ加工及び支援技術」特集 平成21年度総合研究会開催案内（第4報）

..................... 170

委員会委員の公募について

..................... 171

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム開催
および講演募集のお知らせ（第2報）

..................... 172

モーションキャプチャと加速度センサを用いた振りの練習支援

…………………林　貴宏，尾内理紀夫 173

SQUID磁束計による頚部脊髄誘発磁場計測システムの開発

…………………足立善昭，宮本政和，河合　淳，上原　弦，川端茂徳，佐藤朋也 181

触覚の仮現運動認知時における皮膚表面筋電位の特徴抽出

…………………川原幸司，朴　永鎰，内田雅文 187

フォトニックバンドギャップファイバーを用いた微量気体のレーザー分光

…………………杉山　直，植田敏嗣，Joanna Pawlat 189

国際会議報告
MEMS 2009 国際会議報告

.....................鈴木雄二 194

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 195

特集号の論文募集
「マイクロ加工及び支援技術」特集 平成21年度総合研究会開催案内（第5報）

..................... 196

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム開催
および講演募集のお知らせ（第3報）

..................... 197

〈第25回センサシンポジウム〉

Characteristics of a Highly Sensitive Magnetic Sensor Fabricated from Bulk Superconducting BPSCCO

…………………Hiroyuki Fujita, Takahiro Miwa, Mineo Itoh, Hiroshi Kezuka,
Hitoshi Matsumoto, Hiroaki Kishimura 199

Surface Adhesion Control of Patterned Perfluoro Polymer for Release Technology in the μTAS Fabrication Process

…………………Taizo Kobayashi, Satoshi Konishi 205

Fluidic-Based Inclination Sensor by Silica Coating Process with Low-Voltage Detection Circuitry

…………………Asrulnizam Bin Abd Manaf, Yoshinori Matsumoto 210

Improved Infrared Position Sensitive Detector

…………………Akihiro Takahata, Yoshiharu Shimada, Fumio Yoshioka, Ikuo Yamamoto, Masashi Yoshida, Masafumi Kimata, Takashi Kano 215

Measurement of pH in Fluidic Chip Using a Terahertz Chemical Microscope

…………………Toshihiko Kiwa, Shohei Oka, Yuji Minami, Iwao Kawayama, Masayoshi Tonouchi, Keiji Tsukada 221

国際会議報告
ISSCC 2009 国際会議報告

.....................出口　淳 225

研究室だより
独立行政法人　産業技術総合研究所　エレクトロニクス研究部門　高密度SIグループ

.....................青柳昌宏 226

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 227

特集号の論文募集　「細胞マイクロシステム」特集

..................... 228

センサ・マイクロマシン部門　平成21年度総合研究会開催案内（第6報）

..................... 表3

Examination of Absorptiometry Microchip Application Aiming for Particle-Enhanced Turbidimetric Immunoassay

…………………Toshihiko Noda, Young-Shik Shin,
Nozomu Hirokubo, Kazuhiro Miyamura, Koichi Matsumoto,
Hidekuni Takao, Kazuaki Sawada, Makoto Ishida 229

標準CMOSプロセスを用いたμTAS向け偏光検出イメージセンサ

…………………徳田　崇，山田博文，笹川清隆，太田　淳 234

Capacitance-Voltage Measurement of Transporting Function at Cell Membrane

…………………Toshiya Sakata, Yuji Miyahara 242

ダイナミックマイクロアレイを用いた胚操作自動化の試み

…………………木村啓志，中村寛子，岩井孝介，山本貴富喜，竹内昌治，藤井輝夫，酒井康行 245

体内毒性試験へ向けたオンチップ小腸-肝臓由来細胞共培養システムの開発

…………………木村啓志，中山秀謹，山本貴富喜，酒井康行，藤井輝夫 252

水素アニールされたダイヤモンドp型表面伝導層の酸化性ガスによる反応速度依存性

…………………春田憲一，木村英樹，黒須楯生 259

ITO−ZnSe−CdTeセンサの内部電界解析

…………………一番ヶ瀬剛 265

国際会議報告
SPIE Defense, Security, and Sensing 2009 Symposium報告

.....................舟木英之 271

研究室だより
静岡大学　電子工学研究所 イメージングデバイス分野

.....................川人祥二 272

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 表3

論　　文
〈第25回センサシンポジウム〉

Self-Assembled Lipopolymers with Physisorbed Amphiphilic GC Materials for QCM Odor Sensors

…………………Bartosz Wyszynski, Pakpum Somboon, Takamichi Nakamoto 273

Temperature Control and Packaging Optimization of the Integrated Hydrogen Sensor

…………………Kousuke Tsubota, Toshihiko Kiwa, Hironobu Yamada,
Tomiharu Yamaguchi, Yohei Kondo, Hirofumi Imajo, Tsutomu Hondo,
Tunetoshi Maehara, Tadayoshi Yamamoto, Keiji Tsukada 278

Fabrication of a Micro Capacitive Inclination Sensor by Resin Molding

…………………Hiroaki Miyake, Kazufumi Nishimoto, Hiroyasu Ueda, Hiroshi Ueno,
Koichi Itoigawa, Satoshi Nishida, Daiji Noda, Tadashi Hattori 283

Characteristics of Three-Dimensional Resonant Vibration in a MEMS Silicon Beam Resonator

…………………Takuya Ishino, Sho Makita, Hiroshi Tanigawa, Kenichiro Suzuki 289

Fabrication of Micro Accelerometer Using Screen Printed BaTiO3 Film on a Ceramic Substrate and Its Characterization

…………………Masato Suzuki, Yuta Kobayashi, Seiji Aoyagi,
Hiroyuki Tajiri, Takaya Nagahata 295

Design and Simulation of Inertial Force Sensor Using Mach-Zehnder Interferometer with Optical Waveguides Made of Crystal Silicon

…………………Masato Suzuki, Gou Kawai, Hayato Izumi,
Seiji Aoyagi, Shin Yokoyama 301

Enhancement of Gas Response of ZnO Micro-nano Structured Films through O2 Plasma Treatment

…………………Ippei Nagatomo, Ryohei Uchino, Yanbo Li, Masaki Shuzo,
Ichiro Yamada, Jean-Jacques Delaunay 307

国際会議報告
IEEE International Magnetics Conference 2009報告

.....................山口正洋 312

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 313

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
−開催および速報論文募集のお知らせ−

..................... 314

論　　文
〈第25回センサシンポジウム〉

Design and Fabrication of Biosensor Device by Use of Receptor Proteins

…………………Yoshihiko Kuwana, Katsura Kojima, Yasushi Tamada 317

A High-Speed CMOS Image Sensor with Global Electronic Shutter Pixels Using Pinned Diodes

…………………Keita Yasutomi, Toshihiro Tamura,
Masanori Furuta, Shinya Itoh, Shoji Kawahito 321

MEMS Tilt Sensor Fabricated Utilizing Anodic Bonding of Thin Silicon Film on Glass Substrate

…………………Kenta Suzuki, Takuya Hata, Kumiko Ioka,
Yoshifumi Takahashi, Teturo Tuzi, Yasushiro Nishioka 328

カーボンナノチューブを用いた味覚センサ

…………………高木敬典，平田孝道，秋谷昌宏 333

LB膜味覚センサに用いる電極金属の検討

…………………横谷高広，平田孝道，秋谷昌宏 338

半導体薄膜とPdを堆積した多孔質アルミナを用いたエチレンセンサ

…………………後藤　薫，喜井雄介，古川敬二，原　和裕 344

波動場の小領域観測による瞬時波源定位の理論と実験的検証

…………………小山翔一，栗原　徹，安藤　繁 350

光導波型圧力センサにおける共振周波数のダイヤフラムサイズ依存性

…………………中島瑞季，新國広幸，大河正志，佐藤　孝 357

UV-LEDリソグラフィによるマイクロレンズアレイの製作

…………………井口雄介，松本佳宣 363

国際会議報告　IEEE MTT-S International Microwave Symposium 2009 国際会議報告

.....................廣田明道 365

研究室だより　技術研究組合BEANS研究所

.....................安達淳治 366

学会カレンダー　センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 368

特集号の論文募集　「安全・安心を支えるセンシング技術」特集

..................... 369

第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム開催のお知らせ

..................... 370

Development of a Silicon Microneedle with Three-Dimensional Sharp Tip by Electrochemical Etching

…………………Hayato Izumi, Tokusuke Okamoto, Masato Suzuki, Seiji Aoyagi 373

標本の特性変化に適応可能な直列多段型血球分離デバイス

…………………小林大造，加藤大貴，古賀裕之，森本賢一，
福田　允，木下良治，吉田　博，小西　聡 380

神経信号計測用柔軟プローブへのワイヤボンディング技術の応用

…………………清水幸一，中西基文，牧川方昭，浅嶌周造，小西　聡 387

PET診断に用いる18F-イオン捕捉・回収セルへのパイロポリマー電極の応用に関する研究

…………………岡本貫志，守法　篤，岩田　錬，齊木秀和，中西博昭，小西　聡 393

A High-Resolution Endoscope of Small Diameter Using Electromagnetically Vibration of Single Fiber

…………………Tadao Matsunaga, Ryunosuke Hino,
Wataru Makishi, Masayoshi Esashi, Yoichi Haga 399

論　　文
〈第25回センサシンポジウム〉

A Method of Networking Hierarchical Sensor Systems for Energy-Saving Robust Sensor Networks

…………………Kenichi Nemoto, Keisuke Sei, Toshiyuki Toriyama, Takaya Miyano 405

Stability Improvement of Tactile Sensor of Normal and Shear Stresses Using Ni-Cr Thin Film Gauge

…………………Hiroyuki Ohnishi, Masayuki Sohgawa, Hiroto Tachibana, Yu Ming Huang, Takeshi Kanashima, Masanori Okuyama, Kaoru Yamashita, Minoru Noda, Haruo Noma 411

Proposal of a New Type Thin Film Vacuum Sensor Using the Short Circuit Current-Detection Type Thermocouple

…………………Noriaki Takashima, Mitsuteru Kimura 417

A Range-Shift Technique for TOF Range Image Sensors

…………………Tomonari Sawada, Kana Ito, Masakatsu Nakayama, Shoji Kawahito 421

Fabrication of Aspheric Micro-lens Mold with High Aspect Ratio - Method to Form Small 3D Structures with an Arbitrary Aspheric Surface and High Aspect Ratio -

…………………Irizo Naniwa, Masatoshi Kanamaru,
Shigeo Nakamura, Takeshi Shimano, Masaya Horino 426

国際会議報告
6th International Conference on Networked Sensing Systems (INSS 2009) 報告

.....................篠田裕之 430

研究室だより
東京大学生産技術研究所　竹内昌治研究室

.....................竹内昌治 431

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 432

特集論文
超小型レーザスキャニングモジュールにおける高精度実装

…………………吉原晋二，大原淳士，安部克則，竹内幸裕，川原伸章 433

微小流路中における表面科学研究のためのQCMの集積化

…………………板坂洋佑，西澤松彦，安部　隆 439

温度差センサのヒータ駆動切替えによる広範囲圧力測定

…………………高嶋徳明，木村光照 444

割込み型触覚センサシステムのためのLSI設計

…………………室山真徳，巻幡光俊，松崎　栄，山田　整，山口宇唯，
中山貴裕，野々村裕，田中秀治，江刺正喜 450

モノリシック型シリコンマイクロチャネルプレートの開発

…………………佐久間啓史，高橋幸郎 461

電解液を用いた容量型水平センサの試作と評価

…………………森永秀樹，松本佳宣 469

Microassembly of PZT Actuators into Silicon Microstructures

…………………Mohd Faizul Mohd Sabri, Takahito Ono, Masayoshi Esashi 471

標準CMOSプロセスによる可視光ID用フォトダーリントン

…………………木村遥介，松本佳宣 473

天空の太陽をサーチする簡便な方法

…………………丹保豊和，柴田　幹，深谷達弥 475

プロキシミティ裏面露光によるテーパ形状の製作と応用

…………………松本佳宣，真壁啓司 480

国際会議報告
Transducers 2009, Denver, Colorado, U. S. A (The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems)

.....................式田光宏 486

学会カレンダー
センサ，MEMS&ナノテク関連国際会議　カレンダー

..................... 487

新進研究者の投稿論文に対する掲載別刷代割引のお知らせ
新進研究者の投稿論文の表彰制度のお知らせ

..................... 488